Photovoltaik

Elektronische Bauelemente jeglicher Art sind ein fester Bestandteil unseres alltäglichen Lebens. Vom Auto, über das Handy und den PC, bis hin zur elektrischen Zahnbürste – überall schalten und regeln elektronische Baugruppen die vielfältigsten Anwendungen.

Ein zunehmend wachsender Einsatzbereich von Kohlenstoffprodukten ist die Photovoltaik.
Bei der Herstellung von Silizium- oder Dünnschichtsolarzellen werden bei vielen Prozessen Bauteile aus Kohlenstoffen eingesetzt.

Unsere Produkte in diesen Bereichen sind:

  • Suszeptoren für Siliziumepitaxiereaktoren
  • Suszeptoren für MOCVD-Prozesse
  • Singlewafer-Suszeptoren für RTP und LPCVD-Prozesse
  • Ionenqellen, Elektroden und Shields für die Ionenimplantation
  • Elektroden und Bauteile zum Plasmaätzen
  • Bauteile für die Quarzglasherstellung
  • hochreine Bauteile und Isolationen für Siemensreaktoren
  • Gaskonverter zur Polysiliziumabscheidung
  • hochreine Bauteile für verschiedenste Kristallzuchtanlagen
  • Graphitboote und Carrier für PECVD-Anlagen
  • Graphitboote für Schmelzanlagen in der Halbleitertechnik
  • Abschirmungen für Kernfusionsreaktoren