Elektronische Bauelemente jeglicher Art sind ein fester Bestandteil unseres alltäglichen Lebens. Vom Auto, über das Handy und den PC, bis hin zur elektrischen Zahnbürste – überall schalten und regeln elektronische Baugruppen die vielfältigsten Anwendungen.
Ein zunehmend wachsender Einsatzbereich von Kohlenstoffprodukten ist die Photovoltaik.
Bei der Herstellung von Silizium- oder Dünnschichtsolarzellen werden bei vielen Prozessen Bauteile aus Kohlenstoffen eingesetzt.
Unsere Produkte in diesen Bereichen sind:
- Suszeptoren für Siliziumepitaxiereaktoren
- Suszeptoren für MOCVD-Prozesse
- Singlewafer-Suszeptoren für RTP und LPCVD-Prozesse
- Ionenqellen, Elektroden und Shields für die Ionenimplantation
- Elektroden und Bauteile zum Plasmaätzen
- Bauteile für die Quarzglasherstellung
- hochreine Bauteile und Isolationen für Siemensreaktoren
- Gaskonverter zur Polysiliziumabscheidung
- hochreine Bauteile für verschiedenste Kristallzuchtanlagen
- Graphitboote und Carrier für PECVD-Anlagen
- Graphitboote für Schmelzanlagen in der Halbleitertechnik
- Abschirmungen für Kernfusionsreaktoren